磁力探针综合测试系统设备

磁力探针综合测试系统设备

主要功能

在大气环境下准确地观测样品表面微区（纳米及微米尺度）三维形貌；

同时可对样品表面物理特性（电学、磁学、力学等特性）进行研究，能测试多种材料如绝缘材料、半导体材料、膜材料、压电/铁电材料、低维纳米材料等。

技术参数

扫描范围：大扫描器XY≥125 μm × 125 μm、Z方向≥5 μm；小扫描器   XY≥10μm × 10μm，Z≥2.5 μm

成像功能：-180°-180°；

分辨率：XY=1 nm、Z方=0.1 nm；

样品台：200 mm

光源：65 nm蓝光、525 nm绿光、635 nm红光RGBs