场发射扫描电子显微镜

场发射扫描电子显微镜

主要功能

FEI-Apreo 2S HiVac型扫描电镜对于大多数样品都能达到纳米或亚纳米级别的空间分辨率。主要用于微纳米尺度表面形貌和元素分析的仪器，具有优异的空间分辨率、立体感好、时间成本低等优势。配备有扫描透射电子显微镜 Scanning Transmission   Electron Microscopy (STEM 3+)、能谱仪 Energy Dispersive Spectrometer (EDS)和电子背散射衍射系统 Electron Back Scattered   Diffraction (EBSD)等功能配件。

技术参数

1. 末级透镜：复合式（静电、浸没式磁场的复合透镜）

2. 高真空：30 kV (STEM) ， 0.7 nm；15 kV (BD)，0.5 nm；15 kV（6.4 nA，WD 10 mm），1.9 nm；1 kV，0.9 nm；1 kV (BD)，0.8 nm；1 kV（BD，WD 10 mm），1.0 nm；500 V (BD) ，0.8 nm；200 V (BD) ，1.2 nm。

3. 低真空：3 kV (30 Pa)，1.8 nm；15 kV (30 Pa)，1.2 nm。

4. 电子束参数：• 电子束电流范围: 1 pA - 400 nA；• 加速电压: 200 V – 30 kV；

5. 着陆能量范围: 20 eV – 30 keV；

6. 最大水平视场宽：10 mm 工作距离下为 3.0 mm（对应于最小放大倍率 x29）；

7. 10mm 分析工作距离 1kV 时电子束分辨率: 1nm。